Вакуумная установка многодугового ионного напыления, модель L600J
Вакуумная установка многодугового ионного напыления, модель L600J
Вакуумная установка многодугового ионного напыления
Вакуумное оборудование многодугового ионного напыления представляет собой многофункциональную и высокоэффективную систему нанесения покрытий. Возможны различные размеры под требования заказчика. Оборудование имеет широкий спектр применения, главным образом для нанесения декоративных покрытий на изделия из стекла, металла, керамики и других материалов.
Оборудование простое и удобное в эксплуатации, обладает высокой степенью автоматизации и обеспечивает превосходное качество плёнки.
Технические параметры:
|
Материал подложки |
Металл, стекло, керамика и др. |
|
Назначение |
Многодуговое нанесение покрытий |
|
Предельный вакуум |
5,0 × 10⁻⁴ Па (без нагрузки, при очистке) |
|
Рабочий вакуум |
5,0 × 10⁻¹ Па |
|
Давление сжатого воздуха |
0,5–0,6 МПа |
|
Циркуляция охлаждающей воды |
2 т/ч, 2,0 кг/см², 20 ± 5 °C |
|
Время откачки |
Снижение атмосферного давления до 5,0 × 10⁻² Па ≤ 10 минут |
|
Цикл нанесения покрытия |
Зависит от технологических требований |
|
Требования к электропитанию |
Вход: трёхфазная четырёхпроводная сеть, 380 В / 50 Гц |
|
Номинальная общая мощность |
Около 50 кВт |
|
Потребляемая мощность |
Около 30 кВт·ч |
Управление с сенсорной панели
Функция
1. Управление процессом и работой
2. Режим ручного управления
3. Контроллер защиты от перефазировки и последовательности откачки
4. Управление расходом и включением/выключением технологического газа
5. Управление вакуумными насосами и клапанами
6. Измерение и контроль вакуума
7. Управление системой многодугового катодного напыления и источником питания многодугового разряда
8. Аварийные выключатели и блокировочный контроль
Заказчик предоставляет проект (следующее оборудование и работы):
1. Воздушный компрессор: давление воздуха 0,4–0,6 МПа, объём воздуха 0,4 м³/ч.
2. Градирня (охлаждающая башня): температура воды ≤ 20 °C, холодопроизводительность 18 м³/ч, давление 0,2 МПа.
3. Электропитание: трёхфазная четырёхпроводная сеть 380 В, 50 Гц.
4. Промышленные газы (например, аргон), а также контрольно-измерительные приборы, клапаны и т. д.
5. Системы ввода и вывода воды, электроэнергии и газа.
6. Отделка цеха нанесения покрытий.
7. Оборудование для предварительной и послеоперационной обработки.
8. Рабочая оснастка и приспособления для заготовок.
Технические характеристики:
Диаметр вакуумной камеры 600 × 500 мм | 4 дуговых катода | Нержавеющая сталь SUS304
1. Вакуумная камера
|
Система |
Компонент |
Характеристики |
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
Диаметр 600 × высота 500 мм |
|
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь SUS304; внутренняя поверхность отполирована; все сварные швы термообработаны и герметичны |
|
|
Тип |
Вертикальная, однокамерная, с одной дверью |
|
|
Смотровое окно |
1 комплект смотрового окна на дверце камеры |
|
|
Карусель |
Полка для заготовок с планетарным вращением; количество осей карусели — по запросу |
|
|
Оснастка (Jigs) |
Изготавливается по индивидуальному заказу в соответствии со спецификацией подложки; стоимость НЕ включена в предложение |
|
|
Контроль вращения стенда |
Регулировка скорости и направления вращения стенда |
|
|
Нагреватель |
Равномерно установлен на внутренней стенке и в центре камеры; 2 термопары; диапазон RT–300 °C; ПИД-регулирование |
|
|
Внутренняя облицовка (съёмная) |
SUS304, толщина 1 мм, съёмная для удобной очистки; внутренняя поверхность отполирована |
|
|
Пневматические клапаны |
2 пневматических клапана для управления вакуумным трубопроводом |
Вакуумная система
|
Система |
Компонент |
Характеристики |
|
Вакуумная система |
Блок черновой откачки |
Механический насос 2X70 (1 шт.); насос Рутса ZJP-150 (1 шт.) |
|
Блок чистовой откачки |
Диффузионный насос TK-400 Oil (1 шт.), производство Китай |
|
|
Вакуумные трубопроводы и клапаны |
Высоковакуумный клапан Φ400 (1 шт.); высоковакуумный клапан Φ100 (1 шт.); высоковакуумный клапан Φ80 (1 шт.); высоковакуумный клапан Φ40 (1 шт.) |
Система распределения газа
|
Система |
Компонент |
Характеристики |
|
Распределение газа |
Газовые выходы |
Размещены по обеим сторонам дверцы и на выходе вакуумной камеры для равномерного распределения газа |
|
Смешивание газа |
Цифровой дисплей-контроллер расхода газа; автоматическое смешивание газов; равномерное давление газа в камере напыления |
|
|
Доступные газы |
Аргон, азот, C2H2 и др. |
|
|
Контроллер массового расхода |
Цифровой дисплей и управление всеми впускными газовыми линиями через расходомер; производство Китай; количество — 3 комплекта |
Измерение вакуума
|
Система |
Компонент |
Характеристики |
|
Измерение вакуума |
Комбинированный вакуумметр |
1 шт. |
|
Металлический вакуумметр Пирани |
2 шт. — измеряет низкое вакуумное давление |
|
|
Металлический ионизационный вакуумметр |
1 шт. — измеряет высокое вакуумное давление; бренд REBORN |
Система дугового напыления
|
Система |
Компонент |
Характеристики |
|
Дуговое напыление |
Катодные дуговые источники |
Высокая эффективность; катоды изготовлены из цельной меди с хромовым покрытием; отличная проводимость и стабильная работа; количество — 4 комплекта. Целевые материалы не включены в стоимость |
|
Функция |
Плазменное травление перед PVD-напылением; источник распыления для нанесения покрытия |
|
|
Источник питания дуги |
Специально разработан для PVD-напыления; обеспечивает высокое качество и стабильный ток; производство Китай |
Система управления
|
Система |
Компонент |
Характеристики |
|
Система управления |
Режим управления |
Ручная и автоматическая система управления; позволяет задавать все параметры процесса нанесения покрытия |
|
Защита от перефазировки |
Контроллер защиты от перефазировки и последовательности откачки |
|
|
Контроль газа |
Управляет распределением газа |
|
|
Вакуумный контроль |
Управляет вакуумными насосами, клапанами и измерениями |
|
|
Управление каруселью |
Управляет вращающейся каруселью |
|
|
Управление дугой |
Управляет блоком дугового напыления, источниками питания дуги и источниками питания смещения |
|
|
Безопасность |
Аварийный останов и блокировочная защита |
Электрические компоненты
|
Система |
Компонент |
Характеристики |
|
Электрические компоненты |
Контакторы и реле |
Контактор, термореле |
|
Система вентиляции |
Автоматическая система вентиляции |
|
|
Система сигнализации |
Сигнализация низкого давления охлаждающей воды и автоматическое отключение |
*) Внешние габариты станка: 2,3 × 1,6 × 2,15 м (Д × Ш × В)
*) Вес станка: 1600 к
Ключевые компоненты вакуумной системы:
1. Масляный диффузионный насос TK-400 (1 шт.): предельный вакуум 5 × 10⁻⁵ Па, скорость откачки 7 000 л/с, мощность нагрева 4,8 кВт.
2. Насос Рутса ZJP-150 (1 шт.): предельный вакуум 3 × 10⁻² Па, скорость откачки 150 л/с, мощность двигателя 2,2 кВт.
3. Механический пластинчато-роторный насос 2X70 (1 шт.): предельный вакуум 3 × 10⁻² Па, скорость откачки 70 л/с, мощность двигателя 5,5 кВт.
4. Источник питания смещения: бренд XDD, выходная мощность 10 кВт, входное напряжение — 3 фазы / 380 В ±10 %. Точность напряжения ±1 %, охлаждение водяное, время гашения дуги 3–100 мс, режим работы — постоянное напряжение.
5. Источник питания дуги: наименование — источник питания дуги / DC инверторный источник, производство Китай, модель T7, ток 200 А, входное напряжение — 3 фазы / 380 В ±10 %.
6. Комбинированный вакуумметр: бренд Reborn, модель ZDF-5210B, 1 шт. Диапазон измерения 3,0 × 10⁻⁵ – 1,0 × 10⁻⁵ Па, 2 измерительных канала, 5-разрядный цифровой дисплей, управление точечное / зональное.
Регулятор массового расхода (MFC): 3 шт., полная шкала (N₂) 500 sccm, диапазон 2–100 % от полной шкалы, точность ±1,5 % от полной шкалы, рабочая температура 5–45 °C, скорость утечки 1×10⁻⁸ атм·см³/с (He), перепад давления 0,1–0,5 МПа.
Регулятор скорости карусели (VFD): бренд Delta или Mitsubishi, модель VFD-M, 1 шт., напряжение 115 В, выходная частота 50 кГц, встроенные функции ПИД и MODBUS.
Система охлаждающей воды (предоставляется Заказчиком): Замкнутая циркуляционная система образуется теплообменником в трубопроводах катода и диффузионного насоса через градирню; для пластинчато-роторных и бустерных насосов вода охлаждается напрямую градирней. Требования: температура < 10 °C, давление > 3 кг. Внешняя циркуляция — градирни для насосов или городское водоснабжение.
Система подачи газа: Аргон — чистота 99,99 %, кислород — 99,96 %, прочие газы — по требованиям процесса. Баллоны и редукторы предоставляет пользователь, допускается использование быстроразъёмных шлангов. Сжатый воздух — по общему стандарту для нанесения покрытий. Выпуск вакуумного насоса подключается наружу через фланец или шланг; перепад давления ≤ 1,5 × 10⁴ Па.
В стоимость включены пуско-наладочные работы.